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光点差分式非接触式元件厚度测量的光头及厚度测量装置.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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光点差分式非接触式元件厚度测量的光头及厚度测量装置.pdf

    本实用新型公开了一种光点差分式非接触式元件厚度测量的光头及包含它的厚度测量装置。光头的光学系统包括光源、分光镜、第一聚光镜、柱面镜和相机；光源发出的光束经分光镜后，一部分光经过第一聚光镜聚成测量光点、落在被测元件表面；测量光点在被测元件表面反射，沿原光路返回，依次经过第一聚光镜、分光镜和柱面镜后，被聚焦形成相互垂直的X方向的焦线和Y方向的焦线，且在X方向的焦线和Y方向的焦线之间，形成呈中心对称的像点，相机设在像点处。本实用新型可实现各种类型待测元件厚度的非接触式测量，准确度高，结构简单；能方便准

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210220983 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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