冷却装置及单晶炉.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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冷却装置及单晶炉.pdf

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本申请涉及一种冷却装置及单晶炉，冷却装置包括冷却主体、安装于冷却主体上的进液管路和出液管路，冷却主体包括设置有冷却腔的壳体，进液管路通过壳体上的进液口与冷却腔连通，出液管路通过壳体上的出液口与冷却腔连通；冷却腔内安装有至少一个沿冷却主体的周向延伸的第一分隔件，通过第一分隔件将冷却腔分隔为多个沿第一方向层叠设置的冷却流道，冷却流道内设置有多个间隔分布的第二分隔件，在一个冷却流道内，第二分隔件沿冷却主体的周向间隔分布、沿第一方向交错分布，使得冷却液在第一方向上呈S形流动，增加了冷却液在冷却腔内的流动

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219586240 U (45)授权公告日 2023.08.25 (21)申请号 202320936623.4 (22)申请日 2023.04.23 (73)专利权人四川晶科能源有限公司地址 6