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一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置.pdf

    本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管的中部对夹安装有阀门，所述螺纹软管的底部连接有顶部开口的收集筒，且收集筒的顶部卡接于过滤机构，所述收集筒一侧外壁的底部位置处连接有水泵，且水泵通过导管连接有固定于收集槽顶部一侧的水龙头，所述水龙头的出水端通过螺纹连接有喷头。本实用新型能够冲洗并通过超声波清理碳

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210207830 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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