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一种单电机驱动的粗抛光机.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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一种单电机驱动的粗抛光机.pdf

    本实用新型公开了一种单电机驱动的粗抛光机，包括抛光机壳、布置在抛光机壳正下方的抛光底座以及用于连接抛光机壳和抛光底座的支架，抛光底座的内部开设有上端开口的空腔，空腔中心转动安装有抛光垫；抛光机壳的底部安装有内部设有内腔的支撑箱，支撑箱的内部周向布置有多个可上下滑动的支杆，多个支杆的上端通过连接盘连接；支杆的下端转动安装有底杆，底杆的下端贯穿支撑箱并安装有晶圆载体。本实用新型抛光垫在转动的过程中，晶圆载体也同时转动，抛光效果良好；本实用新型在中心轴转动的过程中带动底杆同时转动，单个电机即可同时带动

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210209952 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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