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一种射频线圈位置可调整的射频离子源.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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一种射频线圈位置可调整的射频离子源.pdf

    本实用新型涉及一种射频线圈位置可调整的射频离子源，具有绝缘底座、上盖以及保护壳，保护壳上端固定在上盖上，保护壳下端固定在绝缘底座上，绝缘底座上设有进气通道，上盖上设有栅极组件，保护壳内安装有电离腔，电离腔外周套设有射频线圈，射频线圈上固定有高度调节装置，用来调整射频线圈在电离腔外的位置，高度调节装置包括固定组件、支撑柱以及固定螺母，固定组件通过支撑柱，穿过绝缘底座，最后与固定螺母旋紧固定。本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种射频线圈位置可调整的射频离子源。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210223933 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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