微电子工艺习题总结
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第一章
1. What is a wafer? What is a substrate? What is a die?
什么是硅片,什么是衬底,什么是芯片
答:硅片是指由单晶硅切成的薄片;芯片也称为管芯(单数和复数芯片或集成电路);硅 圆片通常称为衬底。
2. List the three major trends associated with improvement in microchip fabrication technology, and give a short descriptio
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