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微机电系统工程专业英语词汇 微机电工程材料 该课程介绍了微机电系统中常用的材料的性质、选择和应用，包括金属、半导体、陶瓷、聚合物等。该课程涉及的专业英语词 汇如下： 中文 英文 微机电系统 Microelectromechanical Systems (MEMS) 材料 Material 性质 Property 选择 Selection 应用 Application 金属 Metal 半导体 Semiconductor 陶瓷 Ceramic 聚合物 Polymer 晶体结构 Crystal structure 晶格常数 Lattice constant 晶向 Crystal orientation 晶面 Crystal plane 点阵 Lattice 基元 Primitive cell 单位晶胞 Unit cell 晶界 Grain boundary 缺陷 Defect 掺杂 Doping 禁带宽度 Band gap width 载流子 Carrier 导电性 Conductivity 阻值 Resistance 应力 Stress 应变 Strain 弹性模量 Elastic modulus 泊松比 Poissons ratio 热膨胀系数 Thermal expansion coefficient 热导率 Thermal conductivity 热容量 Heat capacity 熔点 Melting point 硬度 Hardness 韧性 Toughness 耐腐蚀性 Corrosion resistance 中文 英文 表面粗糙度 Surface roughness 表面处理 Surface treatment 氧化层 Oxide layer 沉积方法 Deposition method 微机电器件与系统 该课程介绍了微机电系统中常见的器件和系统的原理、结构和功能，包括传感器、执行器、开关、滤波器、振荡器等。该课程 涉及的专业英语词汇如下： 中文 英文 微机电器件与系统 Microelectromechanical Devices and Systems (MEDS) 原理 Principle 结构 Structure 功能 Function 传感器 Sensor 执行器 Actuator 开关 Switch 滤波器 Filter 振荡器 Oscillator 振动 Vibration 静电力 Electrostatic force 电容 Capacitance 电感 Inductance 电阻 Resistance 压电效应 Piezoelectric effect 热电效应 Thermoelectric effect 磁电效应 Magneto-electric effect 光电效应 Photoelectric effect 声波 Acoustic wave 表面声波 Surface acoustic wave (SAW) 布拉格反射器 Bragg refl