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本实用新型公开了一种阴极电弧及溅射沉积源，包括法兰盘、牙套、靶材、屏蔽组件、绝缘隔板、引弧装置、冷却板和磁场可调的磁力装置。牙套固设在法兰盘顶部中心处，靶材固定安装牙套内，屏蔽组件固设在靶材外侧，绝缘隔板固设在屏蔽组件的外侧。引弧装置包括引弧发生器、放电针和活动栓，引弧发生器固定在法兰盘上，放电针设在靶材的上方，冷却板固设在法兰盘的底部，冷却板的内部设有循环冷却水路，冷却板的底部设有分别与循环冷却水路相连通的进水口和出水口，磁力装置固定安装在冷却板底部。本实用新型可通过磁力装置来调整磁场的大小，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210237760 U
(45)授权公告日
2020.04.03
(21)申请号 20192
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