原创力文档- 0
- 0
- 约7.53千字
- 约 8页
- 2023-08-29 发布于四川
- 举报
本实用新型为高温真空蒸发离化镀膜装置，涉及镀膜技术领域，包括高温真空密闭的炉体，设于炉体内部的蒸发源，一端伸入炉体内部的电子枪，所述电子枪发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪包括金属套管、可自持放电的中空钽管；所述中空钽管与金属套管之间还设置有导通连接两者的固定锁母；所述金属套管进气口处插设有用于通入工作气体的气体通管；所述蒸发源与电子枪分别与电源的正极、负极连接。本实用新型拓宽了电子枪的使用范围，加大了蒸镀的功能涂层的适用领域，并且本实用新型的装置可以大大增加了工作气体的电离
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210261963 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20182
文档评论（0）