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- 2023-08-29 发布于四川
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本实用新型提供一种螺丝组件、螺丝的缓冲部件及一等离子体刻蚀机台，涉及集成电路生产设备，弹片被夹板部夹在中间的缓冲部件构成一夹层弹片，将缓冲部件组装于螺丝本体柱状部上，然后将螺丝本体与螺孔锁固连接，能够避免工艺反应过程中的电弧问题(arcing)，增加工艺选择方案和工艺配方窗口，提高射频(RF)的性能，并消除减少不稳定性和腔体的异常，另由于弹片与夹板部材质不同，可增加弹片与夹板部的组合性能，延长了螺丝组件的寿命，以及延长腔体维护周期，提升刻蚀机台的开机工作时间，增加工厂产能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210265434 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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