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第三部分 电子显微分析 1武汉理工大学资环学院 管俊芳 第二章 电子显微镜成像原理电子显微分析1 仪器构型2 成像2武汉理工大学资环学院 管俊芳 1 仪器构型（1）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理3武汉理工大学资环学院 管俊芳 1 仪器构型（2）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理4武汉理工大学资环学院 管俊芳 1 仪器构型（3）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理5武汉理工大学资环学院 管俊芳 2 成像（1）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理6武汉理工大学资环学院 管俊芳 2 成像（2）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 Electron microscopes use something similar to a light bulb to produce electrons. This is called the filament. The filament is a piece of wire and when electricity goes through it, not only is light given off, but also electrons. These electrons are focused by a series of magnets. The magnets are made magnetic by electricity and are called electromagnets. The electrons can be focused on the sample and when they hit the sample a signal is given off. 7武汉理工大学资环学院 管俊芳 2 成像（3）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 A special type of detector acts like a TV camera and the image of the sample is displayed on a TV screen. By changing how the electrons are bent and how the beam of electrons strikes the sample, you can change the magnification and focus of the TV image. 8武汉理工大学资环学院 管俊芳 2 成像（4）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 The meaning of “SCANNING”9武汉理工大学资环学院 管俊芳 2 成像（4）电子显微分析 第二章 电子显微镜成像原理 Finally，we get the “Image”.10武汉理工大学资环学院 管俊芳 第三章 电子束与物质之间的作用电子显微分析1 概述2 二次电子 (Secondary Electron）3 背散射电子 (Back－scattered Electron)4 透射电子 （Transmitted Electron）5 吸收电子 （Absorption Electron）6 X射线 （X ray ） 7 俄歇电子 （Auger Electron）8 阴极发光 （Cathodo－luminescence）11武汉理工大学资环学院 管俊芳 1 概述（1） 电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用高速运动的电子束轰击样品，会产生很多物理信息，主要有：二次电子 （Secondary Electron）背散射电子 （Back－scattered Electron）透射电子 （Transmitted Electron）吸收电子 （Absorption Electron）X射线 （X ray）俄歇电子 （Auger Electron）阴极发光 （Cathodo－luminescence）12武汉理工大学资环学院 管俊芳 1 概述（2） 电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用13武汉理工大学资环学院 管俊芳 1 概述（3） 电子显微分析 第三章 电子束与物质的作用 只有了解上述物理信息的产生原理及所代表的含义，才能设法检测它们、利用它们。 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy) (SEM) 透射电子显微镜(Transmission Electron Micr