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一种等离子设备的电极装置及等离子设备.pdfVIP

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  • 2023-08-29 发布于四川
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一种等离子设备的电极装置及等离子设备.pdf

    本实用新型公开了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，所述等离子设备的电极装置包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210274652 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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