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本发明提供一种微藻基抛光磨料及含有其的抛光液、其制备方法及用途。所述微藻基抛光磨料的制备方法包括以下步骤：将微藻加入到磷酸盐缓冲溶液中混合得到微藻溶液；将磨料加入到微藻溶液中搅拌得到微藻基抛光磨料。本发明还公开了一种含有微藻基抛光磨料的抛光液，包括重量配比如下的各组分：微藻基抛光磨料1‑30份；氧化剂1‑20份；pH调节剂1‑20份；催化剂0.1‑5份；分散剂0.1‑10份；去离子水20‑70份。本发明制备的微藻基抛光磨料具有特殊的核壳结构，采用包含有微藻基抛光磨料的抛光液对碳化硅进行抛光，具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116656320 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310567499.3
(22)申请日 2023.05.19
(71)申请人 大连奥首科技有限公司
地址 11
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