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晶圆搬送装置、故障救援系统.pdfVIP

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  • 2023-08-30 发布于四川
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晶圆搬送装置、故障救援系统.pdf

    本实用新型实施例涉及晶圆搬送装置及故障救援系统，晶圆搬送装置包括：搬送车；连接件，所述连接件设置于所述搬送车上，且所述连接件相对于所述搬送车可移动；配合件，所述配合件设置于所述搬送车上，用于与另一所述搬送车上的所述连接件固定连接。本实用新型能够实现通过另一晶圆搬送装置带动发生故障的晶圆搬送装置行走，提高自动物料传送系统的运转效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210272288 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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