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本发明提供一种换热介质回收系统和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，系统包括分离单元、冷却单元、加热单元、回收单元和温控单元，分离单元的输入端通过管道与待回收管路的输出端连通，加热单元的输出端通过管道与待回收管路的输入端连接，分离单元的输出端分别通过管道与冷却单元和加热单元连通，将气体分别输送至冷却单元和加热单元；冷却单元通过管道与回收单元连通，将冷却后的气液混合体输送至回收单元，回收单元从冷却后的气液混合体中回收换热介质。本发明根据换热介质在不同温度下的蒸汽压变化较大的特点，极
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116659179 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310575208.5 F25B 43/00 (2006.01)
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