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本发明提供一种基于液压放大的压电微动平台，包括压电驱动模块、液压放大模块、导轨模块、位移检测模块、底板、静平台、动平台；x轴导轨模块和y轴导轨模块安装在动平台两侧表面，位移检测模块分别安装在x轴导轨模块和y轴导轨模块上；x轴压电驱动模块和x轴液压放大模块固定在底板上，x轴压电驱动模块和x轴液压放大模块驱动连接，x轴液压放大模块和y轴位移检测模块固定连接；y轴压电驱动模块和y轴液压放大模块均固定在底板上，y轴压电驱动模块和y轴液压放大模块驱动连接，y轴液压放大模块和x轴位移检测模块固定连接。本发明
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116667697 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310588824.4
(22)申请日 2023.05.24
(71)申请人 南京工程学院
地址 211167
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