一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品、校准装置及校准方法.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品、校准装置及校准方法.pdf

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本发明公开了一种关键尺寸扫描电子显微镜（CD‑SEM）标准样品、校准装置及校准方法，包括：一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品，所述标准样品分为四个不同的区域S1、S2、S3和S4，所述四个区域中图案的最小结构尺寸各不相同；所述四个不同的区域S1、S2、S3和S4中的每个区域又分为四个区域P1、P2、P3和P4，其中的图案为四种不同的形状；所述四种不同的形状又分为上下两个部分，为两种不同的图案类型。一种关键尺寸扫描电子显微镜校准装置，其特征在于，包括：样品承载装置、标准样品、三维运动平台；本发明还

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116659427 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310571580.9 (22)申请日 2023.05.21 (71)申请人华研芯测半导体（苏州）有限公司地