一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统.pdf

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本发明公开了一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统，包括建立静电MEMS微镜的动力学方程，获取驱动力矩，并建立驱动力矩表达式；建立不同梳齿到转轴距离的驱动器的有限元模型，并对有限元模型进行仿真，获取不同驱动器电容与角度的关系，并对获取的不同驱动器电容与角度的关系进行拟合，获取驱动器电容表达式；基于获取的驱动器电容表达式、驱动力矩表达式和静电MEMS微镜的动力学方程得到谐振振幅的表达式，并基于谐振振幅的表达式获取不同梳齿到转轴距离下静电MEMS微镜的谐振振幅；选取所有谐振振幅中的最大

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116661140 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310707084.1 (22)申请日 2023.06.14 (71)申请人西北工业大学地址 710072