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一种自动化半导体清洗烘干装置.pdfVIP

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  • 2023-08-30 发布于四川
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一种自动化半导体清洗烘干装置.pdf

    本发明公开一种自动化半导体清洗烘干装置，包括固定底座和固定顶箱，所述固定顶箱固定安装在固定底座的上方中部位置，所述固定底座的内部设置有蓄水槽，所述固定底座的上端内侧活动安装有用来盛放半导体材料的清洗篮，所述清洗篮的内侧拼接安装有若干组拼接插板，所述拼接插板的两侧及清洗篮的内侧均活动安装有若干组旋转卡座，所述固定底座的两端内侧均活动安装有用来驱动清洗篮移动的驱动盘，所述固定顶箱的下端内侧活动安装有升降罩；通过设置若干组旋转卡座，配合第一电机的使用，在该自动化半导体清洗烘干装置使用时，令其具有同步翻

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116651829 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310698538.3 (22)申请日 2023.06.14 (71)申请人 无锡升滕半导体技

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