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本发明涉及精密仪器和半导体制造设备技术领域,具体涉及一种面向ATE弹簧探针预组装的闸门结构;该面向ATE弹簧探针预组装的闸门结构从上到下依次包括上转盘、上闸门固定盘、中转盘、下闸门固定盘、下固定盘和总闸门转盘;所述上转盘和中转盘沿依次设置有针管下料孔,针尾下料孔,弹簧下料孔和针头下料孔;所述针管下料孔,针尾下料孔,弹簧下料孔和针头下料孔位于同一圆周上;本发明能够实现将针头、弹簧和针尾自动对准并装入针管中完成预组装,大幅缩短对准时间,提高预组装效率;并通过上转盘、上闸门固定盘、中转盘、下闸门固定盘
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116652580 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310663825.0
(22)申请日 2023.06.06
(71)申请人 苏州迪克微电子有限公司
地址 2
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