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本发明涉及半导体技术领域，具体是涉及一种基于真空脱气的超声波清洗机，包括机体、清洗槽、提篮和位置调节组件，位置调节组件包括第一活动块、活动条和活动板，清洗槽固定设置在机体的内部，清洗槽整体呈阶梯状，清洗槽内部分为清洗区和烘干区，第一活动块能够带动与第一活动块接触的提篮移动，活动条能够使得处于清洗区顶端的提篮保持高度不变，活动板能够使得处于第一活动块和活动条之间且上移的提篮移动至烘干区中。本发明减少经过清洗工作的半导体从提篮中取出时出现其它情况的概率，使得机体中同时间存在三个提篮分别处于不同的工作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116651845 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310640286.9
(22)申请日 2023.06.01
(71)申请人 恒超源洗净科技 （深圳）有限公司
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