(2220)--不锈钢表面真空镀膜方法研究进展.pdfVIP

不锈钢表面真空镀膜 方法研究进展* : 摘 要 ， ， 综述 了国内外真空镀膜方法 包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对不锈钢表面镀膜 的研究进展 介绍 了热化 学 ， ( 、 ) 气相沉积方法 重点 阐述 了溅射镀膜方法 包括直流二极溅射 磁控溅射及离子束溅射 及离子镀技术在不锈钢表面镀膜 时对薄 膜种类 、沉积速率 、结合力等方面 的特点 。最后对不锈钢表面各种真空镀膜方法进行 了分析对 比，指 出了存在的 问题及今后 的发 展方 向。 关键词: 不锈钢; 表面; 物理气相沉积; 化学气相沉积 中图分类号: TB43 文献标志码: A 文