原创力文档- 0
- 0
- 约2.39万字
- 约 23页
- 2023-08-30 发布于四川
- 举报
提供一种用于清洁光刻设备的部件的清洁设备，所述设备包括第一清洁表面，所述第一清洁表面被配置成与位于待清洁的表面上的污染物粒子物理地相互作用，以从所述待清洁的表面移除所述污染物粒子。还描述了一种用于清洁光刻设备的部件的清洁尖端、一种清洁光刻设备的方法，和一种用于防止光刻设备的表面的再污染的设备和方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116669871 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202180081833.3 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
文档评论（0）