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本申请公开一种微机电挡片及其制作方法、图像传感器组件及其制作方法、图像传感器及其制备方法，涉及视频处理领域，用于减小图像传感器的尺寸，并提高图像传感器的工作效率。所述微机电挡片包括挡片层，所述挡片层包括微机电结构图案；所述微机电结构图案包括：具有开口的支撑结构图案；遮挡部分所述开口的挡片结构图案；以及，连接在所述支撑结构图案与所述挡片结构图案之间的致动结构图案；所述挡片结构图案的包括间隔设置的多条挡光条，所述挡光条用于遮光，相邻的两个所述挡光条之间的间隔区域用于透光。微机电挡片用于控制红外辐射信
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115567777 A
(43)申请公布日 2023.01.03
(21)申请号 202211216974.4
(22)申请日 2022.09.30
(71)申请人 杭州海康微影传感科
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