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一种银的细微图形化蚀刻方法.pdfVIP

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  • 2023-08-30 发布于四川
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一种银的细微图形化蚀刻方法.pdf

    本发明公开了一种银的细微图形化蚀刻方法，包括抛光、清洁、镀氧化膜/银、旋涂光刻胶、分别用第1道的银蚀刻液和第2道银蚀刻液进行蚀刻、经去胶液清洗得到Ag金属网格。本发明工艺简单，可以得到线径小于5um的银图案，对银的蚀刻均匀，图形化线性度高，所得银金属网格附着好，网格不易发生漂移。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113463099 A (43)申请公布日 2021.10.01 (21)申请号 20201

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