原创力文档- 3
- 0
- 约3.08万字
- 约 30页
- 2023-08-30 发布于四川
- 举报
本发明提供能够缩短对准时间的对准装置、成膜装置、对准方法、电子设备的制造方法、模型标记生成方法、模型标记、及存储介质。对准装置具备：拍摄机构，所述拍摄机构对用于基板及掩模的对准的对准标记进行拍摄；决定机构，所述决定机构基于通过使用拍摄机构的拍摄图像及模型标记的第一图案匹配而确定的对准标记的位置，决定基板及掩模的相对的位置调整中的调整量；以及位置调整机构，所述位置调整机构基于通过决定机构决定的调整量进行位置调整。在第一图案匹配中使用的模型标记基于通过第二图案匹配确定的从拍摄图像取得的对准标记的面积
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114959563 A
(43)申请公布日 2022.08.30
(21)申请号 202210154448.3 H01L 21/68 (2006.01)
(22)申请日 2022.02.
您可能关注的文档
- 农业或土木工程类型的重型轮胎的优化结构.pdf
- 一种特殊的防火／防爆／防弹幕墙系统.pdf
- 一种磁性荧光微球及其制备方法和应用.pdf
- 红灯时长挖掘方法、电子设备及计算机程序产品.pdf
- 一种改善紫色18K金铝合金韧性的配方及其制备方法.pdf
- 一种耐汗液腐蚀性能的紫色18K金铝合金的制备方法.pdf
- 电子设备及电子设备的组装方法.pdf
- 一种带有雾化功能结构的稳定式冷凝换热器.pdf
- 负载褪黑素细胞外囊泡及制备方法.pdf
- 连结式一次性穿着物品.pdf
- 计量规程规范 JJF 2476-2026腹膜透析机校准规范.pdf
- 《JJF 2465-2026天然气在线硫化氢气体检测仪校准规范》.pdf
- JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范.pdf
- 《JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范》.pdf
- 计量规程规范 JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- 《JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范》.pdf
- 《JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范》.pdf
- JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
文档评论（0）