一种肖特基二极管芯片.pdfVIP

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  • 2023-08-31 发布于四川
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本实用新型提供了一种肖特基二极管芯片,涉及半导体器件技术领域,包括背面金属层、衬底层、外延层、肖特基势垒层、P型保护环、氧化层和正面金属层,背面金属层一端面向外依次设有衬底层和外延层,肖特基势垒层、P型保护环和氧化层均设于外延层远离衬底层的端面,其中肖特基势垒层设于外延层表面的中央,P型保护环设于肖特基势垒层的外围,正面金属层设于肖特基势垒层远离外延层的端面,氧化层设于正面金属层的外围且承接于P型保护环;还包括沟槽钝化保护层,沟槽钝化保护层包覆于衬底层、外延层、P型保护环和氧化层外侧;本实用新型

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210272370 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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