精细陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷) 涂层检验方法 基于Stoney公式的陶瓷涂层内应力测定.pdfVIP

精细陶瓷 涂层检验方法 基于Stoney公式的陶瓷涂层内应力测定 1 范围 本文件规定了一种测定陶瓷涂层内应力的方法，该方法通过将板条状或圆盘状含陶瓷涂层试样的曲 率半径变化的测量结果应用Stoney公式来计算涂层内应力。 2 规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件。 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 原理 涂层应力对镀有涂层的工具和机械构件的性能起重要作用。目前已经开发出了多种用于测定涂层应 力的技术。而本文件中所关注的技术是指通过测量厚度已知的、仅单面镀有涂层的、具有良好特征的薄 圆盘状或板条状试样的弯曲变形程度来计算其涂层内应力。假定试样变形为弹性的，即如果去除涂层， 基片将返回其初始形状。 只要涂层厚度远小于基片厚度 （涂层厚度小于基片厚度的2%），其曲率呈球形，且基片最初为平 坦的或曲率已知，则可应用Stoney公式（见7.6）进行涂层应力的计算，而无需了解涂层材料的弹性特性。 使用该技术进行测量需要准确地了解涂层厚度、基片厚度、基片材料的杨氏模量和泊松比。 注1：涂层厚度可通过诸如台阶仪 （接触式探针轮廓仪）（见ISO 18452）、球坑法 （见ISO26243）和横截面法 （见 [4] EN 10