一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置.pdfVIP

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2023-09-01 发布于四川
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一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置.pdf

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本实用新型公开了一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置，包括：真空箱体和位于所述真空箱体内的被镀件固定架、被镀件移动机构、溅射阴极、阴极运动机构；本实用新型相比于传统的平面镀膜装置，是两个零件两个表面同时进行磁控溅射镀膜，根据溅射基板的尺寸，可以增加环路磁铁数量，即增加电离子环状封闭跑道数，进而扩大溅射面积，提高生产效率。而且与传统平面溅射阴极相比，同等情况下阴极结构的体积缩小了。磁铁座上下面布置磁铁是为了形成环状封闭跑道，因此主要是在正反面上进行溅射工作。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210287144 U (45)授权公告日 2020.04.10 (21)申请号 20192