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本实用新型涉及一种插片机用水系统及硅片清洗系统，包括：依次设置的硅片插片机、回用水池、过滤装置和储水器；所述过滤装置设有第一排污口，所述第一排污口连通至废水站；所述储水器与所述硅片插片机之间设有第一输水管，所述储水器与所述过滤装置之间设有反洗单元，以使所述储水器中的水对所述过滤装置进行清洗。技术效果：对用水系统进行了优化，实现了硅片插片工序的独立用水循环，最大限度地减少自来水用量和废水排放量，避免了工艺浪费的现象，使得水能够重复利用，节约了水资源，降低了用水成本，减轻了废水处理系统的处理压力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210286847 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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