一种镜头清洁工具.pdfVIP

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2023-09-02 发布于四川
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本实用新型提供的镜头清洁工具，用于对光刻机的镜头进行清洁，包括：手柄、清洁组件和观察组件，所述清洁组件包括第一连接杆，所述第一连接杆的一端与所述手柄的一端连接，所述第一连接杆远离所述手柄的一端上设有清洁部件，所述清洁部件用于对光刻机的镜头进行清洁，所述观察组件与所述手柄连接或与所述第一连接杆连接，用以观察所述清洁部件的工作状态。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210279902 U (45)授权公告日 2020.04.10 (21)申请号 20192