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一种杜绝晶圆激光切割裂纹的加工装置及其方法.pdfVIP

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  • 2023-09-02 发布于四川
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一种杜绝晶圆激光切割裂纹的加工装置及其方法.pdf

    本发明公开了一种杜绝晶圆激光切割裂纹的加工装置，包括晶圆激光切割机，所述晶圆激光切割机的一侧安装有连接座，本发明通过安装有连接座，工作人员可以根据实际情况的需要在储壳的支撑下为电热管通电，同时在支板的支撑下启动风机，使风机将外界的空气可以穿过气孔吸入通槽的内侧，并穿过通槽吹向锥套和连接套的内侧，此时电热管会在锥套和连接套的支撑下对空气进行加热，随后加热口的空气会贯穿连接套的内侧穿过最顶部的锥套吹向撑板，此时热气会通过气道穿过撑板和放置板吹向放置板的顶部，使热气可以对瓦套进行加热，同时热气会吹向定

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116673594 A (43)申请公布日 2023.09.01 (21)申请号 202310381897.6 (22)申请日 2023.04.11 (71)申请人 江苏晟驰微电子有限公司 地址 2

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