一种炭炭复合材料气相沉积炉用旋转装置.pdfVIP

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2023-09-02 发布于四川
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一种炭炭复合材料气相沉积炉用旋转装置.pdf

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本实用新型涉及一种炭炭复合材料气相沉积炉用旋转装置，其特征在于，包括中心套管，中心套管的顶部通过固定轴承安装被动大齿轮，中心套管底部插装在炉底中心固定套内，炉底中心固定套的侧壁上设置有侧进气管；进气管插入中心套管并与炉底中心固定套连接；所述的被动大齿轮与安装在驱动轴端部的主动小齿轮咬合，驱动轴与电机连接；所述的被动大齿轮的顶面安装托板，托板的顶面安装垫墩，垫墩顶面安装隔热垫。本申请具有结构合理、简单，操作使用简便，沉积室内温度更加均匀，有利于沉积等优点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210287519 U (45)授权公告日 2020.04.10 (21)申请号 20192