力学大会2015集ms0816静电激励下输流微梁非线性振动稳定性研究.pdfVIP

静电激励下输流微梁的非线性振动和 稳定性研究 闫妍， 理工大学工程力学系， 650500 ： 微机电系统 （MEMS）是一种典型的多学科交叉的新兴高科技产业，随着 MEMS 技术的发展， 微谐振器和微驱动器等的研究得到了迅猛发展。由于简单和高效性，静电驱动往往是 MEMS 首选的驱 动方法，本文采用欧拉梁模型、Galerkin 数值离散方法和微分方程定性理论研究了静电激励下两端固 定输流微梁的非线性振动和稳定性行为， 不同的电压和流速对系统平面相轨迹的影响。结果表 明电压和流速对于系统的稳定性，振动频率，跳跃和吸合现象有重要影响。本文的研究成果为微传 感器的实验现象提供了合理的解释，并有益于微机电系统的优化设计。 ：输流微梁，跳跃，吸合，稳定性 引言 微机电系统（MEMS）作为一种典型的多学科交叉的新兴高科技产业，已在国际上形成了研究热 点。随着 MEMS 技术的发展，微谐振器和微驱动器等的研究得到了迅猛发展[1,2]。由于简单和高效 性，静电驱动