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本发明的装载口不会使容器等超出需要地大型化,且不影响基板的形状,能够高精度且高速地检测基板的状态。装载口(1)包括:门部(14),可开放地封闭与多层地收纳多个基板W的容器(2)内连通的开口部(15),并能够在封闭开口部的封闭位置与开放开口部的开放位置(P2)之间升降移动;映射传感器(20),与门部设置成一体,用于检测基板的状态,映射传感器具有向基板照射拍摄用的光(La)的发光部(50)和拍摄由发光部照明的照明区域内来取得拍摄图像的摄像部(52),对发光部和摄像部的至少一者进行调整以使得由容器(2
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111584390 A
(43)申请公布日
2020.08.25
(21)申请号 20191
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