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本实用新型公开了一种蓝宝石晶棒浸没式多线切割装置，该装置包括切割组件、切割液存储箱、切割液循环箱、切割液过滤装置和提升泵，其中，切割组件设置于切割液存储箱中，切割液存储箱通过切割液过滤装置连接至切割液循环箱，切割液循环箱通过提升泵回连至切割液存储箱；所述切割组件包括工件垫条、槽轮和金刚线网，所述工件垫条悬于槽轮之上，所述金刚线网布置在所述槽轮之间，所述槽轮设置于所述切割液存储箱中的切割液的液面之下。该装置控制了切割时产生的热量和线网的张力波动，提高了切割后所得晶片的品质，提升了金钢线的使用寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210308495 U
(45)授权公告日
2020.04.14
(21)申请号 20192
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