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12.1.3 其他典型光电器件 3）电荷耦合器件（CCD） （1）电荷耦合器件结构与原理 读出移位寄存器工作原理：MOS电容器用同一半导体衬底制成，衬底上涂覆一层氧化层，并在其上制作许多相互绝缘的金属电极，相邻电极之间仅隔极小距离。对于可移动的电荷信号都将力图向表面势大的位置移动。为保证信号电荷按确定方向和路线转移，在 各电极上所加的电压严 格满足相位要求，如下 图所示为以三相配线连 接的读出移位寄存器的 结构及控制时钟波形。 以此为例可说明电荷定 向转移的过程。 12.1 光电式传感器 当前第31页\共有77页\编于星期二\0点 12.1.3 其他典型光电器件 3）电荷耦合器件（CCD） (2) 线型CCD图像传感器 一列光敏元与一列移位寄存器并行且对应构成。两者之间有一转移控制栅，各光敏元都有一梳状公共电极，由一个P型沟阻隔离。光敏元阵列有光照且梳状电极加高电压时，光敏元进行光积分。积分结束时转移栅的电压提高(平时为低)，与移位寄存器对应的电极同时处于高电压。然后降低梳状电极电压，各光敏元中所积光电荷并行转移到移位寄存器中。转移完毕，转移栅电压降低，梳妆电极电压回复原高电压状态，准备下一次光积分。同时，给移位寄存器加时钟脉冲，将存储电荷从寄存器转移至输出端。重复该过程得到相继的行输出，从而 读出电荷图形。 转移栅 光积分单元 不透光的电荷转移结