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一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法.pdfVIP

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  • 2023-09-06 发布于四川
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一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法.pdf

    本发明提供了一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法，属于相干衍射成像领域，该方法为：采集衍射光场强度信息，同时初始化照明探针和待测样品的信息函数以及探针位置；获得出口波并导入传播模型获得模拟衍射光场，替换衍射光场强度信息进而获得更新衍射光场；将更新衍射光场导入逆向传播模型并获得衍射出口波，进而更新各个扫描位置待测样品和照明探针的信息函数；在探针位置周围形成探针矩阵，计算相关性后更新探针位置，重复上述步骤以进行迭代，直至完成预设次数迭代或达到预设条件。本发明可以避免局部未收敛区域对全局扫描位置校正

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116698791 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310532396.3 (22)申请日 2023.05.11 (71)申请人 华中科技大学 地址 430074

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