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本发明提供一种通过多个电极产生等离子体以对衬底执行处理工艺的批次型衬底处理装置。批次型衬底处理装置包括反应管、多个电极及电极保护部。所述多个电极包括：第一电力供应电极与第二电力供应电极，彼此间隔开；以及第一接地电极及第二接地电极，在第一电力供应电极与第二电力供应电极之间被设置成分别与第一电力供应电极及第二电力供应电极对应。电极保护部包括：多个第一电极保护管，分别具有其中插置有第一电力供应电极及第二电力供应电极的内空间；多个第二电极保护管，分别具有其中插置有第一接地电极及第二接地电极的内空间；以及
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116705584 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310195693.3
(22)申请日 2023.03.03
(30)优先权数据
10-2022-0028149
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