S分峰的分析实例.docx

S 分峰的分析实例 Document serial number【LGGKGB-LGG98YT-LGGT8CB-LGUT- 材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 例：将剂量为 1107ions/cm2，能量为 45KeV 的碳离子注入单晶硅中，然后在 1100C 退火2h 进展热处理。对单晶硅试样进展 XPS 测试，试对其中的 C 高区分扫瞄谱进展解析， 1s 以确定各种可能存在的官能团。分析过程： 1、在 Origin 中处理数据 图 1 将试验数据用记事本翻开，其中 C 表示的是 C 电子，表示起始结合能，表示结合 1s 1s 能递减步长，81 表示数据个数。从 15842 开头