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本发明提供一种涂层缺陷的无损检测方法及系统。所述系统由时域热反射测量系统和加热系统组成，时域热反射测量系统由飞秒激光器、光栅一、光隔离器、光栅二、偏振分光器一、反射镜一、光电调制器、锁相放大器、电动位移台、光电探测器、光电斩波器、偏振分光器二、偏振分光器三、物镜和反光镜二组成。试样加热系统由加热台、控温仪器、氩气保护气氛箱和高纯氩气罐组成。方法步骤为：制备涂层试样；时域热反射测量系统的调试；调试完成后通过时域热反射建立热导率和温度的关系；再进一步建立热导率‑声子弛豫时间‑缺陷浓度的函数关系，然后
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116698917 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310989984.X
(22)申请日 2023.08.08
(71)申请人 江苏美特林科特殊合金股份有限公
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