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CN114445402A-半导体芯片用掩模版贴膜精度检测方法及检测装置.docVIP

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  • 2023-09-09 发布于上海
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CN114445402A-半导体芯片用掩模版贴膜精度检测方法及检测装置.doc

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114445402 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210340199.7 (22)申请日 2022.04 .02 (71)申请人 深圳市龙图光电有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区沙井街 道新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂 房一楼 (72)发明人 黄执祥　柯汉奇　王栋　孙世强　 (74)专利代理机构 深圳市恒程创新知识产权代 理有限公司 44542 专利代理师 赵爱蓉 (51)Int.Cl . G06T 7/00 (2017 .01) G06T 7/11(2017 .01

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