微结构样品检测设备及其检测方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.63千字
约 11页
2023-09-07 发布于四川
举报
版权申诉

微结构样品检测设备及其检测方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种微结构样品检测设备及其检测方法，包括：成像光路，成像光路具有用于放置微结构样品的载物台；扫场电机，用于沿着垂直于微结构样品的方向，对样品进行轴向移动，从而进行光场扫描；长工作距平行光路，用于以反射或透射方式将单束平行照明光投射至微结构样品上，平行光路包括扩束整形镜组、选区光阑和中继镜组，扩束整形镜组具有一入射端和出射端，入射端对准于光源，选区光阑对准于出射端，中继镜组包括同光轴设置的前透镜和后透镜，前透镜对准于选区光阑的光阑孔，后透镜对准于微结构样品，微结构样品的样品面与选区光阑

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116698752 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310808581.0 (22)申请日 2023.07.03 (71)申请人上海复享光学股份有限公司地址