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- 2023-09-07 发布于四川
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本发明提供一种互连转接板的制作方法、封装方法及结构。互连转接板的制作方法包括步骤：S11：提供基底，采用光刻刻蚀工艺于基底中形成多个间隔设置的第一通孔；S12：采用熔融玻璃材料将第一通孔填充；S13：去除相邻的第一通孔之间的基底材料，由此形成第二通孔；S14：于第二通孔内填充金属导电层以形成多个间隔设置的导电柱。本发明经改善的流程设计，可以制作出具有高密度互连孔的复合TGV转接板结构，可以满足高密度封装需求。因互连孔之间通过玻璃材料绝缘，因而内部无需再电镀绝缘层，有助于减少工艺步骤，降低生产成本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116705622 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310714212.5 H01L 23/31 (2006.01)
(22)申请日 2023.06.
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