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一种太赫兹频段全金属微纳波导.pdfVIP

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  • 2023-09-07 发布于四川
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一种太赫兹频段全金属微纳波导.pdf

    本发明涉及一种太赫兹频段全金属微纳波导，结构体系上，以全金属结构实现结构外形、波导通道和定位孔的一体化；加工工艺上，通过机床加工、微纳加工分别进行法兰和波导结构的加工；装配方式上，波导与法兰通过销钉定位进行对准装配，同时直接以微纳加工的波导口作为端面与输入/输出信号相连接，减少信号传输损耗。本发明的全金属微纳器件相较于金属化硅基微纳器件具有良好的器件可靠性和工作寿命；以机床加工和微纳加工结合有效实现法兰与波导结合的一体化加工，改善了波导结构的表面粗糙度、侧壁陡直度和表面平整度等，减小射频损耗；对

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116706486 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310828342.1 (22)申请日 2023.07.07 (71)申请人 太锐芯科技 （青岛）有限公司 地址

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