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本发明公开了一种精密材料电学参数的测试装置及其测试方法,其包括控制器和与控制器控制连接的气缸、旋转装置以及探针,所述气缸的输出端经传动压轴带动所述旋转装置和探针上下运动,且所述探针接触受测件后控制器控制所述旋转装置带动所述探针旋转。本发明能够克服探针与受测件接触不充分、测试过程没有去除氧化物或杂质、由于人工测试导致测试不精确的问题,实现避免人工测试误差,自动测试且测试精准。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108957052 A
(43)申请公布日
2018.12.07
(21)申请号 20181
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