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本发明提供一种单晶炉隔离阀的控制方法、系统和单晶炉。其中，单晶炉隔离阀的控制方法，应用于单晶炉隔离阀控制系统中的上位机，控制方法包括如下步骤：S1，通过所述上位机监测拉晶部件的提拉距离是否达到第一预定距离；S2，在所述上位机监测到所述拉晶部件的提拉距离尚未达到所述第一预定距离时，控制所述阀体限位机构保持所述限位状态；S3，在所述上位机判断在所述拉晶部件的后续提拉过程中尚未出现安全距离保护区间时，控制所述阀体限位机构保持所述限位状态。根据本发明实施例的单晶炉隔离阀的控制方法，能够有效控制规避隔离阀
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116695234 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310916567.2
(22)申请日 2023.07.25
(71)申请人 晶澳（无锡）光伏科技有限公司
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