一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法.pdfVIP

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2023-09-07 发布于四川
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一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法.pdf

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本发明提供一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法，包括承载装置、抓取装置、升降装置、第一转动关节、第二转动关节等装置，其中抓取装置包括两个抓取手臂，能够交替通过两个抓取手臂从两侧连续对晶圆进行抓取以及翻转移载，能够将晶圆连续放置于料盒内，完成晶圆的连续移载，保证晶圆位置放置的准确；通过上述设备能够对将晶圆连续稳定的放置于料盒内，保证晶圆放置的连续以及稳定，极大地提高了晶圆翻转移载的效率。该发明解决了晶圆翻转移载过程中空载回程的问题，极大地提高了晶圆翻转移载过程的效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116705680 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310792606.2 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人安徽富乐德长江半导体材料股份有