一种内置节流器的静压轴承单元及超精密液体静压转台.pdfVIP

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2023-09-07 发布于四川
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一种内置节流器的静压轴承单元及超精密液体静压转台.pdf

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本发明公开了一种内置节流器的静压轴承单元及超精密液体静压转台，静压轴承单元包括静压轴承、静压轴承座以及节流器，静压轴承安装在静压轴承座上，节流器与静压轴承座组合为一体，其包括四组轴向油腔节流器和两组径向油腔节流器；轴向油腔节流器匹配控制静压轴承中的轴向静压油腔，径向油腔节流器匹配控制静压轴承中的径向静压油腔；静压轴承座底部开设有环形进油口。本发明利用液体静压技术支撑旋转部件，具备很高的回转精度并可精确实现微小旋转运动的分辨率；节流器与静压轴承座采用模块化设计，缩小了静压轴承单元的尺寸；通过多路油

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115325026 A (43)申请公布日 2022.11.11 (21)申请号 202211013344.7 (22)申请日 2022.08.23 (71)申请人通用技术集团机床工