原创力文档- 8
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- 2023-09-10 发布于天津
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1．引言 2
2 ．离子注入工艺 2
2.1 简介 2
2.2 离子注入的分类 3
2.3 离子注入的要求 3
3 ． 离子注入工艺的特点 4
4. 离子注入工艺中应注意的几个问题 6
4.1 离子沟道 6
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